DC.title :	Anyagtudomány és technológia
DC.creator.personalName:	dr. Zsebők Ottó
DC.contributor.personalName:	Lektorok: Dr. Keresztes Péter, egyetemi docens, Széchenyi István Egyetem, Automatizálási Tanszék, Dr. Lukács Péter, ISD DUNAFERR Zrt.
DC.publisher:	Széchenyi István Egyetem, Műszaki Tudományi Kar
DC.identifier: (ISBN)	978-615-5391-01-9
DC.date:	2013-06-28
DC.format:	Elektronikus jegyzet
DC.subject:	anyagtudomány elektronikai technológiák kristályrácsok kristályhibák kristálynövesztés vegyület-félvezetők fotolitográfia, elektronlitográfia kémiai gőzfázisű rétegleválasztás molekulasugaras epitaxia maratási technológiák vastagréteg technológia vékonyréteg technológia elektronmikroszkóp karakterizálási módszerek.
DC.description:	A jegyzet ismerteti és gazdagon illusztrálja a csúcstechnológiájú integrált áramkörök előállításával kapcsolatos anyagtudományos és technológiai ismereteket az anyagtudományok megjelenésétől egészen napjaink nanotechnológiájáig. Bemutatásra kerül a szilícium egykristály és elektronikai hordozólapkák előállítása, az ipari litográfiai folyamatok, különféle atomi rétegleválasztási és maratási technológiák, vastag- és vékonyréteg technológiák, valamint az atomi struktúrák karakterizálási technikái.<br/>
DC.coverage.spatial:	Győr
DC.language:	Magyar
DC.rights:	Creative Commons NonCommercial-NoDerivs 3.0 (CC BY-NC-ND 3.0) A szerző nevének feltüntetése mellett nem kereskedelmi céllal szabadon másolható, terjeszthető, megjelentethető és előadható, de nem módosítható. Széchenyi István Egyetem, Műszaki Tudományi Kar, COPYRIGHT: dr. Zsebők Ottó
DC.date.X-MetadataLastModified: (W3CDTF)	2013-07-10